Patnáctého ledna 1945 dosáhl nacistický koncentrační systém nejvyššího počtu vězňů za celou svou historii: 714 211 mužů, žen a dětí pod kontrolou SS. Byl to vrchol expanze, ale zároveň začátek konce. V následujících sto dnech se systém zhroutil zevnitř, vyhnal své vězně na pochody smrti uprostřed evropské zimy a proměnil své poslední týdny v sérii masakrů, zoufalých útěků a tajných vyjednávání. V lednu 1945 byly tábory uvnitř předválečných hranic říše přeplněné.
Mauthausen se svou sítí podtáborů přesáhl koncem února 80 000 vězňů, Buchenwald zaznamenal v březnu přes 96 000 internovaných, Bergen-Belsen měl k 1. březnu 41 520 vězňů, přičemž k 1. lednu jich měl jen 18 465. Dachau pohřbíval tisíce mrtvých do hromadných hrobů, protože krematoria nestíhala spalovat těla.
Vězeň Nico Rost si 25. února zapsal, že mrtvých bylo tolik, že přeživší už neměli čas oplakávat přátele. Systém se rozpadal, i když stále fungoval. Už na podzim 1944 začala SS evakuovat tábory na východě, které ohrožovala postupující Rudá armáda.
Evakuace v Pobaltí byly brutální. V Klagu, součásti komplexu Vaivara, shromáždila SS v září 1944 asi 2000 vězňů a většinu z nich postřílela v lese. Když sovětští vojáci dorazili o několik týdnů později, našli jen něco přes sto přeživších, mnozí v šoku. Rozdíl mezi západními a východními evakuacemi nebyl jen v míře brutality, ale v podstatě.
Na západě měli velitelé čas a používali vlaky; na východě zastihla rychlost postupu Rudé armády SS nepřipravenou, a když se cítili obklíčeni, bylo zastřelení vězňů stejně přijatelné jako cokoli jiného. V předchozích měsících se systém proměnil v průmyslovou paži nacistického válečného hospodářství. Nejextrémnějším příkladem byl tábor Dora v pohoří Harz, kde vězni za otřesných podmínek vyráběli rakety V2. V tunelech žilo, spalo a pracovalo asi 10 000 vězňů.
Do konce března 1944 zemřel více než jeden ze tří. Podobná logika podzemní výroby se opakovala v desítkách podtáborů, jako byl komplex Kaufering v Bavorsku, kde odhadem zemřela téměř polovina z asi 30 000 vězňů. Sedmého října 1944, tři měsíce před začátkem velkých evakuací, se v Osvětimi-Birkenau odehrál nejpozoruhodnější okamžik odporu. Přes sto vězňů Sonderkommanda u Krematoria IV, kteří věděli, že je čeká selekce, zaútočilo na strážce kameny, sekerami a železnými tyčemi.
Zapálili krematorium. Vzpoura byla od začátku odsouzená k neúspěchu. Do večera leželo kolem krematorií přes 250 mrtvých těla. Ani jeden vězeň Sonderkommanda neunikl.
Přesto plynové komory fungovaly ještě další týdny. Poslední hromadné plynování v historii tábora proběhlo 31. října 1944. Poté začala SS demontovat infrastrukturu vyhlazování, aby zahladila stopy před příchodem Rudé armády, a vyprazdňovat tábor.
Mezi červencem a prosincem 1944 bylo z Osvětimi posláno do vnitrozemí asi 100 000 vězňů. Dvanáctého ledna 1945 zahájila Rudá armáda jednu z nejničivějších útočných operací války. V bezprostředním dosahu postupu se nacházely tři z největších komplexů: Osvětim, Gross-Rosen a Stutthof, dohromady s více než 190 000 vězni. Kolony vězňů začaly opouštět Osvětim 17.
ledna. Pochody do vnitrozemí říše měřily asi 65 kilometrů. Vězni dostali minimální dávky, mnozí je snědli ještě před vyražením. Popravy byly všudypřítomné.
Při evakuaci podtábora Blechhammer naložila SS nemocné na sáně a vyhodila je do vzduchu ručními granáty. Z komplexu, který měl v srpnu 1944 přes 135 000 vězňů, nalezli sovětští vojáci 27. ledna jen 7 500 lidí, většinou nemocných a příliš slabých na chůzi. Mezi doutnajícími troskami skladů našli stovky tisíc kusů oblečení a tisíce kilogramů lidských vlasů.
Jeden ze čtyř vězňů Osvětimi zahynul během transportů. Největší masakr evakuací se odehrál na ledu Baltského pobřeží. Kolona asi 3 000 vězeňkyň ze Stutthofu dorazila koncem ledna do Palmniken, kde je SS sevřená mezi mořem a sovětským postupem rozstřílela kulomety. Ty, které nezemřely na místě, se utopily nebo umrzly.
Ještě celé dny přinášely vlny mrtvá těla na pláže. Bergen-Belsen ukázal, jak se systém ničil zevnitř. Původně malý výměnný tábor využívala SS jako cíl pro nemocné a umírající z jiných táborů. V lednu 1945 měl 18 465 vězňů, k 1.
březnu 41 520, a v den osvobození britskými jednotkami 15. dubna asi 53 000. V březnu 1945 tam za jediný měsíc zemřelo 18 168 lidí. Mezi nimi byly i Anne Franková a její sestra Margot, které zemřely na tyfus a úplavici.
V posledních měsících války SS zřizovala záměrné zóny smrti. V opuštěných garážích v Nordhausenu, patřících ke komplexu Dora, bylo za necelé tři měsíce dovezeno asi 12 000 vězňů, z nichž přes 3 000 zemřelo. Vězni tento tábor nazývali živé krematorium. Vedoucí hospodářského úřadu SS Oswald Pohl reagoval na žádosti o lepší oblečení pro vězně s opovržením.
Zatímco vězni umírali, sklady SS zůstávaly plné paštik, bot a léků. Heinrich Himmler věděl, že říše nepřežije, a snažil se vybudovat fikci pragmatického státníka. Tajná vyjednávání o propuštění vězňů s Mezinárodním a Švédským červeným křížem se zintenzivnila. Skutečných ústupků bylo málo.
Od poloviny března začaly autobusy Švédského červeného kříže přesouvat skandinávské vězně do Neuengamme. Aby udělala místo, vyhnala SS z jednoho bloku přes 2 000 umírajících vězňů. Teprve v dubnu počet propuštění stoupl, celkově byly zachráněny tisíce lidí, ale statisíce zůstávaly uvězněné. Himmler řekl veliteli Mauthausenu, že Židé jsou jeho nejlepší kapitál, přesto i tam Židé umírali rychlejším tempem než kdokoli jiný.
Dvacátého dubna 1945, v den Hitlerových narozenin, přišla SS v Neuengamme pro 20 židovských dětí, které přežily až do posledních dnů války. Lékař SS je uspal morfiem a pověsil na háky ve sklepě prázdné školy. Po dětech byli pověšeni i čtyři dospělí, kteří se o ně starali. Lékař si pak dal kávu, aby se uklidnil.
V posledních dnech tábory padaly rychle jeden za druhým. Buchenwald osvobodila 11. dubna šestá obrněná divize, která uvnitř našla ještě 21 000 vězňů. Když americký důstojník vstoupil na prázdné nádvoří Dachau 29.
dubna, bylo za pár minut plné internovaných šílených radostí. Mezi osvobozenými byl i Moric Chojnowski, který strávil v táborech více než 2 000 dní. Doplazil se do ošetřovny za svým kamarádem Edgarem Kupferem a objal ho s pláčem. V Bergen-Belsenu našli vojenští lékaři 53 000 lidí v kritickém stavu.
I přes veškeré úsilí zemřelo v týdnech po osvobození dalších 14 000 přeživších. Třetího května 1945, čtyři dny před oficiálním koncem války, zaútočila letadla RAF na německé lodě v zátoce Neustadt. Na lodích Cap Arcona, Thielbek a Athen bylo nahnáno přes 10 000 vězňů z Neuengamme a Stutthofu. Ti, kteří přežili výbuchy a požáry, se utopili v ledové vodě Baltského moře.
Odhaduje se, že toho dne zahynulo přes 7 000 lidí. Byla to jedna z největších námořních katastrof v dějinách, s více oběťmi než potopení Titanicu. Himmler se 3. a 4.
května naposledy setkal se svými veliteli ve Flensburgu. Nepřišel s posledním bojovým rozkazem. Oznámil jim, že pro tábory už žádné pokyny nemá, a vydal poslední instrukci: přestrojit se a schovat. Sám byl zatčen britskými vojáky 21.
května a o dva dny později se otrávil kyanidem. Rudolf Höß byl vypátrán na statku na severu Německa, vydán do Polska a oběšen v bývalém hlavním táboře Osvětim. Josef Kramer byl souzen britským tribunálem a oběšen v prosinci 1945. Fritz Suhren z Ravensbrücku žil léta pod falešným jménem, byl rozpoznán svou bývalou sekretářkou a popraven ve Francii v roce 1950.
Mezi lednem a začátkem května 1945 zemřelo odhadem 300 000 vězňů. Celkový počet mrtvých na pochodech smrti se odhaduje na 200 000 až 350 000. Přesné číslo se nikdy nedozvíme. Mnozí zemřeli v bezejmenných příkopech, v lesích nebo na dně Baltského moře.
V hlavních táborech osvobodili spojenci v posledních pěti týdnech války odhadem 160 000 vězňů, ve více než 100 podtáborech dalších 90 000. Více než 100 000 vězňů získalo svobodu na německých silnicích, když jejich eskorty uprchly. Celkově bylo v tomto posledním období osvobozeno přibližně 250 000 lidí. Cyklus, který začal 22.
března 1933 v Dachau s pouhými 100 vězni, se uzavřel 29. dubna 1945 ve stejném městě, když američtí vojáci vstoupili na prázdné nádvoří.